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XNY-ALS陽極膜離子源

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XNY-ALS陽極膜離子源

公司陽極膜離子源采用模塊化設計,可與現有設備進行有限匹配。
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產品描述
參數

  特性設計:

  本公司陽極膜離子源采用模塊化設計,可與現有設備進行有限匹配。主要部件分為:表面外陰極,表面內陰極,磁鐵,磁路(離子源殼體),陽極,布氣機構,驅動電源。除現有設計外,用戶可選擇:

  ★定制條形長度

  ★定制安裝方式

  ★多路氣體供給系統

  ★離子束的聚焦模式

  ★中和燈絲(散焦大電流工作模式)

  主要特點

  1、大束流,高密度

  2、無柵極和燈絲

  3、適合各種工作氣體:02、N2和碳氫氣體

  4、能在濺射壓強下工作

  5、離子束能量范圍:100-2000eV

  離子束輔助沉積作用:

  ★基體預處理提高膜層附著力

  ★有效控制薄膜內應力,調整成分

  ★提高膜層聚集密度

  ★化學配比,優化顯微結構

 

工作特性
工作模式
聚焦模式
散焦模式
外形
L*145*45(mm)
最大放電電壓
<3000V
<500V
最大放電電流
>150mA
<5A
離子能量
>1000eV
<100eV
工作壓強
3*10-2-1.5*10-1Pa
3.5*10-1-5*10-1Pa
氣體流量
0-500Sccm
冷卻水管
Φ8或Φ12
冷卻水阻抗
50KΩ/M
控制方式
Local/Remote
適用范圍
<100°C等離子體清洗及輔助鍍膜

 

 

效果圖

使用效果圖

關鍵詞:
陽極膜離子源
模塊化設計
設備
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