XNYGF-III

　　復合真空計

　　使 用 說 明 書

　　OPERATION INSTRUCTION

　　成都興南儀真空設備有限公司

　　CHENGDU XINGNANYI VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD

　　地址：四川成都溫江區蓉臺大道南段540號

　　電話：(86)028-85834909

　　網址：http:// /www.achetez-en-ligne.net

　　一、概述

　　1、性能簡介

　　XNYGF-III復合真空計是采用微處理器技術和大規模集成電路CPLD相結合的真空測量智能儀器，具有自動化程度、穩定、高******性、強抗干擾能力等特性。儀器一經啟動，無需值守，能長期工作，對粗低真空(105～10-1Pa)和高真空(10～10-6Pa)連續測量并進行實時監控，是真空設備上常用的真空測量儀器。

　　根據測量需要可選配：

　　n ZJ-27抗氧化型電離真空傳感器(簡稱規管)，測量范圍為10～10-6Pa

　　n ZJ-10型電離規管，測量范圍為65～3×10-5Pa

　　n ZJ-12型電離規管，測量范圍為10-1～3×10-8Pa

　　n ZJ-14型電離規管，測量范圍為10-1～10-7Pa

　　n ZJ-52T型電阻規，雙路或單路，測量范圍為105～10-1Pa

　　n ZJ-54D型熱偶規，雙路或單路，測量范圍為103～10-1Pa

　　n ZJ-1P型壓阻規，雙路或單路，測量范圍為105～102Pa

　　n 模擬輸出板：電壓輸出或電流輸出

　　n RS232通訊接口

　　2、自動測量

　　儀器開機后自動進入測量狀態，儀器在“自動”測量狀態，自動開啟及關閉電離計，自動轉換量程及發射電流，對真空系統可進行連續測量及控制，并具有自動保護。測量范圍是：105～10 -6Pa。

　　3、控制功能

　　六路控制繼電器輸出，在真空過程中可進行定點或區域控制。每路控制均可任意設定由電阻計或電離計控制輸出。每路控制點在開機后任何時候可進行上限、下限任意設定及查看，設定點具有掉電保護，記憶功能。

　　4、測量精度

　　儀器采用了微處理器技術，在粗低真空和高真空測量時自動對非線性和發射電流變化進行修正，因此測量精度高。

　　5、規管壽命

　　ZJ-27型電離規陰極采用抗氧化銥絲，規管壽命長，瞬時暴露大氣，不會造成損壞。

　　6、人機界面

　　采用三路三顯，每路真空測量值均實時顯示，直觀快捷。

　　薄膜面板和微動按鈕相結合，操作簡單，美觀大方。

　　7、外部控制

　　通過儀器背面的外控接頭，在需要時可由外部控制信號關閉電離計測量，儀器使用更方便。

　　二、工作原理

　　儀器由測量部分、控制部分和規管組成。

　　1、電離計工作原理

　　當電離規管燈絲加熱發射電子，電子在比陰極電位更高的加速極作用下，與氣體分子碰撞而使氣體電離，電離后的正離子被比陰極電位更負的收集極吸收，經電流放大器放大后，通過CPU電路修正處理，送顯示器顯示(右邊電離顯示窗口)。

　　在特定的測量范圍內，離子流與被測壓強成正比，即：I+=S×Ie×P

　　式中：I+為離子流，S為規管靈敏度，Ie為發射電流，P為規管內部壓強。

　　電源部分是提供測量電路和規管工作時所需的各種直流電壓以及穩發射電流等。

　　控制部分采用微處理器，由離子流放大輸入A/D產生的數字信號，通過CPU進行誤差修正，送顯示器顯示真空度或發射電流。

　　2、電阻計的工作原理

　　電阻規在真空系統低壓強時，利用氣體分子的熱傳導，在高壓強時，利用氣體分子的對流傳熱特性，使得電阻規的電阻隨所測系統的壓強變化而變化。電阻規的電阻與壓強的變化是一種非線性關系，因此本機采用CPU對此非線性進行誤差修正，從而提高測量精度。

　　由壓強變化所引起的電阻規電阻值的變化，從測量橋路輸出電壓信號，由放大器放大，經A/D轉換送入CPU進行非線性處理運算，***后送顯示器顯示。

　　三、主要技術指標

　　1、使用條件

　　環境溫度：0～40℃

　　空氣相對濕度：≤85%

　　工作電量：220V±10% 50~60Hz

　　功耗：約40W

　　2、各電參數

　　(1)配用規管型號：ZJ-27電離規

　　規管加速極對地電位：225V±3%

　　規管陰極對地電位：25V±10%

　　發射電流：100uA±3%;1mA±3%

　　放大器滿度誤差：≤5%±1個字

　　除氣方式：焦耳去氣

　　(2)電阻規管：ZJ-52T

　　阻值：約84Ω

　　3、顯示方式

　　三個顯示窗口，每個窗口5位數字顯示。

　　例：3.9E-1，表示為3.9×10-1Pa，“E”為底數10的數學表示法。

　　4、其它功能

　　自動保護(電離)>10Pa

　　控制點負載 AC220V/3A DC28V /10A

　　ZJ-27型電離規管 測量范圍10～10-6Pa(10-6Pa僅作參考)

　　ZJ-52T型電阻規 測量范圍 105～10-1Pa

　　5、整機尺寸和重量

　　整機尺寸：480×88×285 mm(寬×高×深)

　　開孔尺寸：440×88 mm

　　重量：約6.5Kg

　　6、RS232通訊口(可選配RS485)

　　波特率可選9600bit/s～115200 bit/s

　　通訊數據格式可選8N1、8E1、8O1

　　協議可選XingNanYi(興南儀)、ModbusRTU

　　五、使用方法

　　(一)電阻計單元操作

　　1、將電阻規(玻璃電阻規開封或金屬電阻規)與系統妥善密封連接，將儀器電纜與規管連接。

　　2、接通電源，窗口顯示“0.0000”，約5秒后規1和規2的測量值分別顯示在左邊的上下兩個窗口。

　　3、“大氣”、“0.1Pa”校準

　　電阻規在制造材料、工藝、裝配等方面的因素，不同電阻規的性能有差異。因此，在使用新的電阻規時需對該電阻規的性能連同儀器進行“大氣”和“0.1Pa”的校準，以降低測量誤差。

　　儀器提供自動校準和手動校準兩種模式。

　　◆ “0.1Pa”自動校準

　　首先校準“0.1Pa”。在完成1、2后，對被測真空系統抽真空，由電離規確定被測真空度高于1.0E-1(如9.9E-2)。此時電阻規可以校準“0.1Pa”

　　電阻規1校準：按住“-1Pa”按鈕不放，電阻規G1顯示窗的字符“ e”快速閃爍，持續按住按鈕5秒后，電阻規G1顯示窗口開始顯示規1校正值，表示自動校準開始，這時可以松開按鈕。本次校正結束時該窗口顯示數值為8～3之間。 3秒后G1顯示窗的字符“ e”停止閃爍并自動轉入測量狀態，窗口顯示“1.0e-1”，表示規1的“0.1Pa”已被校準。

　　電阻規2校準：按下“-1Pa”按鈕，電阻規G1顯示窗的字符“ e”快速閃爍，松開并再次按住該按鈕不放，此時G2顯示窗的字符“ e”快速閃爍5秒后，G2顯示窗口開始顯示規2校正值，校正完畢3秒后自動轉入測量狀態并顯示“1.0e-1”，表示規2的“0.1Pa”已被校準。

　　◆“大氣”自動校準

　　校完“0.1Pa”后，需對其“大氣”校準。按測試系統的工藝要求，對系統放入大氣，確保被校電阻規所測位置為大氣狀態，在大氣壓下工作約10分鐘。同校“0.1Pa”方法相似，按“大氣”按鈕，進行選擇所需校準的電阻規。選擇的所需規管相應顯示窗口中的字符“ e”快速閃爍，持續按住5秒，5秒后開始滿度自動校準。校正完畢后窗口顯示數值為9992～9988左右，校準完后3秒自動進入正常測量，儀器顯示“1.0e 5”或“hhe 5”(大氣狀態)。

　　◆“0.1Pa”手動校準

　　在完成1、2后，對被測真空系統抽真空，由電離規確定被測真空度高于1.0E-1(如9.9E-2)。此時電阻規可以校“0.1Pa”。

　　“-1Pa”按鈕，重復按鍵可循環選擇需要手動校準的規管，選中規管相應顯示窗口中的字符“ e”快速閃爍。

　　按設置上鍵、下鍵

　　改變選中規管測量值，當該規管顯示窗口顯示“1.0e-1”，則表示該規管“0.1Pa”已校準。停止按鍵5秒后退出校正。

　　◆“大氣”手動校準

　　按測試系統的工藝要求，對系統放入大氣，確保被校電阻規所測位置為大氣狀態，在大氣壓下工作約10分鐘。

　　“大氣”按鈕，重復按鍵可循環選擇需要手動校準的規管，相應選中規管相應顯示窗口中的字符“ e”快速閃爍。

　　按設置上鍵、下鍵

　　改變選中規管測量值，當該規管顯示窗口顯示“1.0e 5”或“hhe 5”(大氣狀態)，表示該規管“大氣”已校準。停止按鍵5秒后退出校準。

　　◆ 本設計電路采取了特殊處理，在正常情況下“0.1Pa”和“大氣”只需校準一次，以后測量不必再校準。在儀器使用一段時間后，若“0.1Pa”和“大氣”有變化，可用上述方法重新校準一次。

　　◆ 特別注意：儀器在大氣狀態時，有一定的變化或漂移，一般顯示1.0E4～1.0E5或HHE5 均為正常，可不進行“大氣”校準。

　　4、電阻規的錯誤提示

　　開機后若在窗口顯示“―――――”，表示電阻規斷絲或跟儀器未連接好，應仔細檢查，排除儀器故障所在。

　　(二)電離計單元操作：

　　◆ 連續測量工作過程如下：

　　(1) 將電阻規與電離規安裝在同一系統內。

　　(2) 開機顯示“0.0000”(右窗口)，自動LED點亮。

　　(3) 開機5秒后進入電阻規測量，當電阻規1所測得真空度大于1Pa時，將自動開啟電離規，進入電離測量顯示;當真空度小于10Pa時，自動關閉電離規，進入電阻規的測量。

　　◆ 手動測量工作過程如下：

　　(1) 將電阻規與電離規安裝在同一系統內。

　　(2) 開機顯示“0.0000”(右窗口)，自動LED點亮。

　　(3) 開機5秒內按下“自動”按鈕，自動LED滅，儀器進入手動測量，

　　(4) 5秒后進入電阻規測量，按下“電離”進入電離測量。

　　◆ 若需在測量過程中檢查發射電流，按“mA/Pa”按鈕，此時mA燈亮，窗口內顯示的是發射電流值。ZJ-27型規管發射電流值正常范圍應在：

　　100uA時，0.0800～0.1200 mA

　　1mA時，0.8000～1.200 mA

　　若在測量過程超出此值，顯示出現“―――――”此時應檢查真空度是否過低或更換規管后再重新測量。

　　◆ 若機器內無電阻規插件板或電阻規損壞，由于開機后電離處于自動方式，不管真空度多高，電離規始終不能打開，這時按“自動”按鈕，關閉自動，自動按鈕的LED滅。這時按“電離”按鈕，“開”燈亮，電離規管工作，可以檢測真空度和發射電流。

　　注意：若此時真空度未達到10Pa，將影響電離規管的壽命，若在大氣時，將會使電離規管很快損壞，故使用手動開關電離應特別小心。

　　◆ 當真空度大于1×10-2Pa時，可對電離規管去氣，按“去氣”按鈕，去氣開始，電離顯示單元顯示去氣時間“000：00”，數碼管后兩位顯示秒，前三位顯示分。

　　若需中止去氣，則按下“電離”按鈕，此時重新進入測量過程。

　　◆ 當真空度小于1×101Pa時，儀器進入保護狀態，規管燈絲被切斷，儀器顯示“0.0000”;當真空度恢復到大于1Pa時，可重新進入電離測量狀態。

　　(三)控制單元操作

　　◆ 在真空過程中可進行定點或區域控制?？刂泣c可在開機5秒內或開機后的任何時刻進行設置和查看，具有掉電保護功能，下次開機為上次控制設置點。

　　◆ 六路控制繼電器輸出，每路控制可任意設定由電阻計或電離計控制輸出。

　　◆ 儀器前面板J1～J6燈分別顯示繼電器輸出狀態。

　　區域控制過程為：

　　(1) 開機前，繼電器為常態，一組常開，一組常閉，控點燈滅;

　　(2) 開機后，當真空度高于設定點下限，低于設定點上限時，繼電器為常態，控點燈慢速閃亮;

　　(3) 當真空度高于設定點上限時，繼電器起控，(常開變為常閉，常閉變為常開)，同時對應的控點燈亮;

　　(4) 當真空度低于設定點上限，高于設定點下限時，繼電器狀態不變，控點燈快速閃亮;

　　★ 當真空度低于設定點上限，高于設定點下限時：

　　繼電器未起控時控點燈慢速閃亮;

　　繼電器已起控時控點燈快速閃亮

　　(5) 當真空度低于下限時，繼電器恢復常態，控點燈滅。

　　◆ 操作方法

　　(1) 進入設定狀態

　　按下“設置/查看”按鈕不放，2秒后J1燈發亮，進入查看狀態;

　　繼續按住該鍵不放，5秒后，J1燈閃爍，儀器進入設置狀態。

　　如下圖，左上窗口顯示設定(查看)控點的序號和控制規管序號;右邊窗口顯示控點的上或下限控制值，以“h”開頭表示設定上限，以“l”開頭表示設定下限。

　　(2) 選擇設定項目

　　在設置狀態重復按“設置/查看”鍵，選中的項目閃爍顯示。儀器循環選擇3個項目設定：

　　控點序號→控制規管→控點值→控點序號……

　　如選定設置控點，則控點序號所在左******位數碼管閃爍;

　　選定設置控點值，則控點值所在右邊******位“h”或“l” 閃爍。

　　(3) 改變設置

　　按上鍵、下鍵

　　改變相應設置項的數值。

　　控點序號項可設6路控點的上、下限：

　　1 h、1 l、2 h、2 l……6 h、6 l

　　控制規管項可設3路測量規管：Rr-1、r-2、1-1

　　(其中r-1是指電阻規1，r-2是指電阻規2，1-1是指電離規)

　　控點值項的設定范圍根據該控點的控制規管而定。

　　ZJ52T型規管：1.0×105～1.0×10-1Pa

　　ZJ27型規管： 1.0×100～1×10-5Pa

　　(4) 退出設置

　　在設置狀態若5秒無按鍵按下，自動保存各個控點設置并回到測量狀態顯示，進行真空測量及控制。

　　(5) 查看設置

　　開機后的任何時間內查看先前控點的設置，

　　A、按下“設定/查看”按鈕2秒，J1燈發亮，進入查看狀態，窗口顯示查看控點的序號、控制規管和上限設置值，

　　B、按上鍵、下鍵

　　改變查看控點序號，相應控點燈被點亮;

　　C、顯示上限值5秒后顯示下限值;5秒后自動退出顯示進入測量。

　　(6) 控點的設置和控點查看在開機后任何時刻都可進行，按“設定/查看”鍵約2秒鐘為設定查看，按“設定/查看”鍵約5秒鐘為控點設置。此種設置方式極為方便，克服了以往真空計在測量過程中調整控點控制時必須開關儀器的麻煩。

　　◆ 設定舉例

　　例一：在真空系統中，控點1需由電阻規1控制在3Pa上發一控制信號，在真空度低于20Pa時關閉此信號。即需設定上限為3Pa下限為20Pa，操作過程為：

　　(1) 按下“設置/查看”按鈕不放，2秒后J1燈發亮，繼續按住該鍵不放，5秒后，J1燈閃爍，儀器進入設置狀態，窗口由真空測量顯示轉變為設定顯示。當需設定J1上限，則J1燈點亮，同時右邊顯示窗以“h” 顯示;

　　(2) 在設置狀態重復按“設置/查看”鍵，儀器循環選擇設定“控點值”，當右邊顯示窗“h” 顯示閃爍時表示可以進行J1的上限的設定;

　　例二：關閉控點

　　用上述方法，把上限控制點設置成顯示為0.0E 0，相應控點被關斷。

　　例三：點控設定

　　不設下限(設置成顯示為0.0E 0)，只設上限，則上限作為控點，下限不起作用。

　　(四)模擬輸出

　　可選配件。用戶根據需要選擇電壓0～10V或電流4～20mA的模擬輸出(只能選其中一組)。

　　本儀器D/A采用12bit精度。其輸出與真空度對應關系如下圖所示。

　　當外部控制觸點在常閉狀態，關閉電離單元測量及其控點輸出;

　　當外部控制觸點在常開狀態，恢復電離單元先前的測量模式。

　　(六)通訊接口(可選配RS485)

　　標配RS232,接口電平符合RS232C標準中的規定。通過RS232通訊接口，可實現傳送測量數據和儀器情況以及設定儀器參數。

　　可選RS485接口(1腳A,2腳B), 接口電平符合RS485C標準中的規定。

　　設定項目如下：

窗口顯示	設置參數	設定范圍	出廠值	備注
1.  000	通訊地址值	0～31（XingNanYi協議） 0～255（Modbus協議）	0
2.   00	通訊波特率	0：9600 bps 1：19200 bps 2：38400 bps 3：57600 bps 4：115200bps	0
3.   00	通訊協議	0：XingNanYi協議 1：Modbus RTU協議	0
4.   00	通訊數據格式	0：8位數據，無效驗，1位停止位 1：8位數據，偶效驗，1位停止位 2：8位數據，奇效驗，1位停止位	0

　　六.注意事項

　　(1) 儀器具有去氣自鎖功能，電離規ZJ27在真空度低于1.0E-2Pa時，儀器不給規管去氣。

　　(2) 規管應盡量******垂直安裝。

　　(3) 電阻規ZJ52T在105Pa附近有漂移，在103Pa以后有較好的測量******度。

　　(4) 電離規ZJ27在10-6Pa時僅作參考。

　　(5) 所配規管只能測量干燥空氣和氮氣，其他氣體成分比例較大的場合需另外修正。

　　七.裝箱清單

1	XNYGF－III復合真空計	1臺
2	ZJ－27 規管	1只
3	ZJ－52T規管	2只
4	規管電纜	3根
5	收集極電纜	1根
6	電源線	1根
7	使用說明書	1份
8	合格證	1份

　　另：電纜長度可定制